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層流罩空氣過濾單元FFU詳細(xì)介紹
日期：2025-07-23 11:39
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摘要：
層流罩空氣過濾單元FFU詳細(xì)介紹詳細(xì)介紹
FFU的組成及性能分析
一、FFU的外觀
目前，全世界所有廠家生產(chǎn)的FFU，從外觀上可這樣劃分:
1、從形狀上分兩種，一種是長方體，一種上部為坡形;FFU的上部做成坡形，起到了一種導(dǎo)流的作用，有利于氣流的流動和均勻分布。長方形的FFU則一般依靠另外的途徑來均衡氣流。
2、從結(jié)構(gòu)上分兩種，一種為整體，一種為分體。
分體形狀的FFU有如下優(yōu)勢：
①使過濾器的更換變得方便
②減小了安裝過程中的勞動強度。
③不會產(chǎn)生泄露
二、層流罩空氣過濾單元FFU詳細(xì)介紹的組成部件
目前，各種FFU*多由以下幾部分組成(按從上到下、從內(nèi)到外的順序)，視不同廠家組成部分可能有所減少。
1、初效過濾器 6、氣流均衡裝置
2、外殼體 7、高效過濾器
3、風(fēng)管連接部件 8、金屬防護(hù)網(wǎng)
4、電機(jī) 9、刀緣
5、葉輪 10、控制元件
下面，我們對各個部件進(jìn)行分析介紹：
一、初效過濾器
主要防止因施工、檢修或其它意外情況產(chǎn)生雜物而可能造成的對高效過濾器的傷害，起到保護(hù)高效、延長使用壽命。
二、外殼體
組成材料大致有鋼板、鋁板、鋁合金、硬塑、不銹鋼等幾種，不同廠家和不同的使用環(huán)境有不同的選擇，厚度大約為1.2~2.0，視厚度情況有些可以載人。
三、風(fēng)管連接部件
在潔凈級別較低(≤1000級聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)209E)的場合，此時吊頂上部沒有靜壓箱，帶有風(fēng)管連接部件的FFU使得風(fēng)管和FFU的連接十分方便。
四、電機(jī)
目前，交流電機(jī)和直流電機(jī)在FFU中都有使用，直流電機(jī)的體積大，造價高，控制容易實現(xiàn)，能耗較高。交流電機(jī)的體積小，造價低，控制需要相應(yīng)的技術(shù)，能耗較低?，F(xiàn)在FFU所使用的電機(jī)的壽命大約為4~10萬小時不等。一些優(yōu)良的電機(jī)會有相應(yīng)的技術(shù)，如無油潤滑，密封軸承，帶過熱保護(hù)，換向器壽命得到顯著提高等。
五、葉輪
葉輪有兩種形式，前傾和后傾，前傾有利于增加氣流組織的矢向流動，增強去除塵埃的能力。后傾有利于降低能耗，減小噪音。
六、氣流均衡裝置
隨著FFU的不斷普及，絕大部分廠家都開始裝配氣流均衡裝置，用來調(diào)整FFU的出口氣流，從而改善潔凈室的氣流分布。目前，這種均衡裝置大約分為三種：一種為孔板，主要通過板上的孔的疏密分布來調(diào)節(jié)FFU的出口氣流。一種為格柵，主要通過格柵的疏密來調(diào)節(jié)FFU的出口氣流。另外一種為動力曲線，主要通過曲線的形狀來誘導(dǎo)氣流的流動，同時也通過曲線上的孔的疏密分布來調(diào)節(jié)氣流。
七、高效過濾器
FFU所使用的過濾器和潔凈廠房所用的其它過濾器一樣，這里不再贅述。
八、金屬防護(hù)網(wǎng)
金屬防護(hù)網(wǎng)主要起到對過濾器的保護(hù)作用，大部分都防靜電。
九、刀緣
當(dāng)FFU使用在一些特別的場合時，帶刀緣的FFU可使用液槽密封，從而能滿足高密封性的要求。
十、控制單元
層流罩空氣過濾單元FFU詳細(xì)介紹FFU的控制可大致分為多檔開關(guān)、連續(xù)調(diào)節(jié)、計算機(jī)控制等幾種，同時實現(xiàn)的功能有單臺控制、分區(qū)控制、報警、運行狀態(tài)顯示等。
然而是什么原因?qū)е?/span>FFU在這么長的時間沒有得到廣泛的應(yīng)用呢？有三個問題占主導(dǎo)地位。
**：噪聲問題。各位可以想一想，在當(dāng)時的生產(chǎn)工藝水平下，上千臺風(fēng)機(jī)在一起的噪聲會是多大呢？
**：壓力平衡。在很大的靜壓箱里，每一個不同角落的風(fēng)機(jī)是否能得到均衡的壓力，這在當(dāng)時也是不能夠得到保證的。
第三：維護(hù)問題。FFU本身造價就比較高，如果它的電機(jī)壽命不能保證的話，更換又會帶來附加投資。這些都是造成當(dāng)時的企業(yè)不選擇使用FFU的主要原因。
隨著科技的發(fā)展，這些問題都變得容易起來。
一、首先降低了風(fēng)機(jī)本身的噪聲，再加上獨特的風(fēng)道設(shè)計，提高了風(fēng)機(jī)的效率，也大大降低了噪聲
二、計算機(jī)的發(fā)展，先進(jìn)的電腦控制系統(tǒng)，解決了大批量FFU壓力不均衡的問題
三、生產(chǎn)工藝水平的提高，延長了風(fēng)機(jī)的使用壽命；德國EBM高質(zhì)量離心風(fēng)機(jī)，具有長壽命、免維護(hù)、震動小等特性，工作壽命長達(dá)50000小時以上。
FFU的全稱叫FAN FILTER UNIT，“風(fēng)機(jī)過濾單元”，也就是風(fēng)機(jī)和過濾器聯(lián)結(jié)在一起，能自己提供動力的早在二十世紀(jì)六十年代，**個層流室的建立就已經(jīng)開始出現(xiàn)FFU的應(yīng)用了。
FFU*早出現(xiàn)于一些有高潔凈度(≥100級聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)209E)要求的改造項目當(dāng)中，用來解決以下三方面的問題：
一、潔凈室吊頂空間不夠
在一些有高潔凈度要求的場合，潔凈室吊頂上部的送風(fēng)靜壓箱有一個很大的作用就是來平衡潔凈室的橫斷面上的壓力，但是當(dāng)使用FFU的時侯，潔凈室的吊頂被分成了若干模塊，我們可以通過調(diào)節(jié)每個模塊(即FFU)來滿足吊頂上部送風(fēng)靜壓箱的壓力平衡的要求，從而大大降低了對該靜壓箱高度的要求。在一些改造項目當(dāng)中，當(dāng)受層高限制時，FFU有效地解決了這一問題。
二、潔凈室靜壓不足
在一些改造項目中，由于條件限制，使得送風(fēng)阻力很大，單獨用空調(diào)機(jī)組的送風(fēng)壓力來克服有困難，由于FFU自帶動力，可以很好地解決這一問題。
三、空調(diào)機(jī)房面積不夠s.N#zA
有一些改造項目，由于空調(diào)機(jī)房面積較小，不可能容納大的空調(diào)機(jī)組，此時，用FFU的自帶動力來彌補這一缺陷，從而可以減小使用的空調(diào)機(jī)組。這一優(yōu)勢也被應(yīng)用到一些潔凈度要求較低(如 1000級 10000級聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)209E)的場合。
但直到1984年，在亞洲才出現(xiàn)大規(guī)模應(yīng)用FFU的事例（大約有5000臺）。是什么原因?qū)е?/span>FFU在這么長的時間沒有得到廣泛的發(fā)展呢？有三個問題占主導(dǎo)地位。
**：噪聲問題。各位可以想一想，在當(dāng)時的生產(chǎn)工藝水平下，5000臺風(fēng)機(jī)在一起的噪聲會是多大呢？
**：壓力平衡。在很大的靜壓箱里，每一個不同角落的風(fēng)機(jī)是否能得到均衡的壓力，這在當(dāng)時也是不能夠得到保證的。
第三：維護(hù)問題。FFU本身造價就比較高，如果它的電機(jī)壽命不能保證的話，更換又會帶來附加投資。
這些都是造成當(dāng)時的企業(yè)不選擇使用FFU的主要原因。但是這一切，在1984年都發(fā)生了改變。首先是噪聲問題得到了控制，大規(guī)模的FFU潔凈廠房都可以把噪聲控制在65DBA以下，這符合工業(yè)廠房的標(biāo)準(zhǔn)。其次隨著自動控制的發(fā)展，監(jiān)測和調(diào)節(jié)各個角落的靜壓也變得容易起來。*后電機(jī)的壽命隨著技術(shù)的提高也得到了質(zhì)的飛躍?，F(xiàn)在，隨著半導(dǎo)體電子技術(shù)的發(fā)展，越來越密集的集成電路也要求著越來越高的潔凈等級。國家之所以大力推廣FFU，正是因為它本身的優(yōu)勢。
**、靈活性。因為FFU是自帶動力的，它不受區(qū)域的限制。在一個偌大的潔凈廠房里，可根據(jù)需要，分區(qū)控制。而且，隨著半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝的變化，廠房布局必然要作相應(yīng)調(diào)整，FFU的靈活性使得這樣的調(diào)整變得輕松，而且不會帶來二次投資。
**、可再利用性。從理論上講，一時不用的FFU設(shè)備，可以拆下來，密封好，妥善保管，留待下次使用。
第三、負(fù)壓通風(fēng)。這是FFU的獨特特點。由于它本身能夠提供靜壓，使得送風(fēng)靜壓箱相對于潔靜廠房負(fù)壓。這樣，靜壓箱內(nèi)的顆粒就不會受到壓力的作用泄漏到潔凈區(qū)里，使得密封變得很簡單而且**。
第四、縮短建設(shè)周期。使用FFU省掉了風(fēng)管的制作和安裝，因為風(fēng)管在潔凈工程中，占掉很大的建設(shè)周期，任何一個投資者都希望投資能盡快帶來收益，選用FFU成為了一種可能。
第五、減少運行成本。雖然在選用FFU時，初期投資要比使用風(fēng)管通風(fēng)高，但它在后期運行中，突出的表現(xiàn)出節(jié)能、免維護(hù)等特點。比用常規(guī)的空調(diào)機(jī)組集中送風(fēng)減少約40%的運行成本。
FFU*早出現(xiàn)于一些有高潔凈度(≥100級聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)209E)要求的改造項目當(dāng)中，用來解決以下三方面的問題：
一、潔凈室吊頂空間不夠
在一些有高潔凈度要求的場合，潔凈室吊頂上部的送風(fēng)靜壓箱有一個很大的作用就是來平衡潔凈室的橫斷面上的壓力，但是當(dāng)使用FFU的時侯，潔凈室的吊頂被分成了若干模塊，我們可以通過調(diào)節(jié)每個模塊(即FFU)來滿足吊頂上部送風(fēng)靜壓箱的壓力平衡的要求，從而大大降低了對該靜壓箱高度的要求。在一些改造項目當(dāng)中，當(dāng)受層高限制時，FFU有效地解決了這一問題。
二、潔凈室靜壓不足
在一些改造項目中，由于條件限制，使得送風(fēng)阻力很大，單獨用空調(diào)機(jī)組的送風(fēng)壓力來克服有困難，由于FFU自帶動力，可以很好地解決這一問題。
三、空調(diào)機(jī)房面積不夠s.N#zA
有一些改造項目，由于空調(diào)機(jī)房面積較小，不可能容納大的空調(diào)機(jī)組，此時，用FFU的自帶動力來彌補這一缺陷，從而可以減小使用的空調(diào)機(jī)組。這一優(yōu)勢也被應(yīng)用到一些潔凈度要求較低(如 1000級 10000級聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)209E)的場合。
但直到1984年，在亞洲才出現(xiàn)大規(guī)模應(yīng)用FFU的事例（大約有5000臺）。是什么原因?qū)е?/span>FFU在這么長的時間沒有得到廣泛的發(fā)展呢？有三個問題占主導(dǎo)地位。
**：噪聲問題。各位可以想一想，在當(dāng)時的生產(chǎn)工藝水平下，5000臺風(fēng)機(jī)在一起的噪聲會是多大呢？
**：壓力平衡。在很大的靜壓箱里，每一個不同角落的風(fēng)機(jī)是否能得到均衡的壓力，這在當(dāng)時也是不能夠得到保證的。
第三：維護(hù)問題。FFU本身造價就比較高，如果它的電機(jī)壽命不能保證的話，更換又會帶來附加投資。
這些都是造成當(dāng)時的企業(yè)不選擇使用FFU的主要原因。但是這一切，在1984年都發(fā)生了改變。首先是噪聲問題得到了控制，大規(guī)模的FFU潔凈廠房都可以把噪聲控制在65DBA以下，這符合工業(yè)廠房的標(biāo)準(zhǔn)。其次隨著自動控制的發(fā)展，監(jiān)測和調(diào)節(jié)各個角落的靜壓也變得容易起來。*后電機(jī)的壽命隨著技術(shù)的提高也得到了質(zhì)的飛躍?，F(xiàn)在，隨著半導(dǎo)體電子技術(shù)的發(fā)展，越來越密集的集成電路也要求著越來越高的潔凈等級。國家之所以大力推廣FFU，正是因為它本身的優(yōu)勢。
**、靈活性。因為FFU是自帶動力的，它不受區(qū)域的限制。在一個偌大的潔凈廠房里，可根據(jù)需要，分區(qū)控制。而且，隨著半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝的變化，廠房布局必然要作相應(yīng)調(diào)整，FFU的靈活性使得這樣的調(diào)整變得輕松，而且不會帶來二次投資。
**、可再利用性。從理論上講，一時不用的FFU設(shè)備，可以拆下來，密封好，妥善保管，留待下次使用。
第三、負(fù)壓通風(fēng)。這是FFU的獨特特點。由于它本身能夠提供靜壓，使得送風(fēng)靜壓箱相對于潔靜廠房負(fù)壓。這樣，靜壓箱內(nèi)的顆粒就不會受到壓力的作用泄漏到潔凈區(qū)里，使得密封變得很簡單而且**。
第四、縮短建設(shè)周期。使用FFU省掉了風(fēng)管的制作和安裝，因為風(fēng)管在潔凈工程中，占掉很大的建設(shè)周期，任何一個投資者都希望投資能盡快帶來收益，選用FFU成為了一種可能。
第五、減少運行成本。雖然在選用FFU時，初期投資要比使用風(fēng)管通風(fēng)高，但它在后期運行中，突出的表現(xiàn)出節(jié)能、免維護(hù)等特點。比用常規(guī)的空調(diào)機(jī)組集中送風(fēng)減少約40%的運行成本。
FFU的組成及性能分析
一、FFU的外觀
目前，全世界所有廠家生產(chǎn)的FFU，從外觀上可這樣劃分:
1、從形狀上分兩種，一種是長方體，一種上部為坡形;FFU的上部做成坡形，起到了一種導(dǎo)流的作用，有利于氣流的流動和均勻分布。長方形的FFU則一般依靠另外的途徑來均衡氣流。
2、從結(jié)構(gòu)上分兩種，一種為整體，一種為分體。
分體形狀的FFU有如下優(yōu)勢：
①使過濾器的更換變得方便
②減小了安裝過程中的勞動強度。
③不會產(chǎn)生泄露
二、層流罩空氣過濾單元FFU詳細(xì)介紹的組成部件
目前，各種FFU*多由以下幾部分組成(按從上到下、從內(nèi)到外的順序)，視不同廠家組成部分可能有所減少。
1、初效過濾器 6、氣流均衡裝置
2、外殼體 7、高效過濾器
3、風(fēng)管連接部件 8、金屬防護(hù)網(wǎng)
4、電機(jī) 9、刀緣
5、葉輪 10、控制元件
下面，我們對各個部件進(jìn)行分析介紹：
一、初效過濾器
主要防止因施工、檢修或其它意外情況產(chǎn)生雜物而可能造成的對高效過濾器的傷害，起到保護(hù)高效、延長使用壽命。
二、外殼體
組成材料大致有鋼板、鋁板、鋁合金、硬塑、不銹鋼等幾種，不同廠家和不同的使用環(huán)境有不同的選擇，厚度大約為1.2~2.0，視厚度情況有些可以載人。
三、風(fēng)管連接部件
在潔凈級別較低(≤1000級聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)209E)的場合，此時吊頂上部沒有靜壓箱，帶有風(fēng)管連接部件的FFU使得風(fēng)管和FFU的連接十分方便。
四、電機(jī)
目前，交流電機(jī)和直流電機(jī)在FFU中都有使用，直流電機(jī)的體積大，造價高，控制容易實現(xiàn)，能耗較高。交流電機(jī)的體積小，造價低，控制需要相應(yīng)的技術(shù)，能耗較低?，F(xiàn)在FFU所使用的電機(jī)的壽命大約為4~10萬小時不等。一些優(yōu)良的電機(jī)會有相應(yīng)的技術(shù)，如無油潤滑，密封軸承，帶過熱保護(hù)，換向器壽命得到顯著提高等。
五、葉輪
葉輪有兩種形式，前傾和后傾，前傾有利于增加氣流組織的矢向流動，增強去除塵埃的能力。后傾有利于降低能耗，減小噪音。
六、氣流均衡裝置
隨著FFU的不斷普及，絕大部分廠家都開始裝配氣流均衡裝置，用來調(diào)整FFU的出口氣流，從而改善潔凈室的氣流分布。目前，這種均衡裝置大約分為三種：一種為孔板，主要通過板上的孔的疏密分布來調(diào)節(jié)FFU的出口氣流。一種為格柵，主要通過格柵的疏密來調(diào)節(jié)FFU的出口氣流。另外一種為動力曲線，主要通過曲線的形狀來誘導(dǎo)氣流的流動，同時也通過曲線上的孔的疏密分布來調(diào)節(jié)氣流。
七、高效過濾器
FFU所使用的過濾器和潔凈廠房所用的其它過濾器一樣，這里不再贅述。
八、金屬防護(hù)網(wǎng)
金屬防護(hù)網(wǎng)主要起到對過濾器的保護(hù)作用，大部分都防靜電。
九、刀緣
當(dāng)FFU使用在一些特別的場合時，帶刀緣的FFU可使用液槽密封，從而能滿足高密封性的要求。
十、控制單元
層流罩空氣過濾單元FFU詳細(xì)介紹FFU的控制可大致分為多檔開關(guān)、連續(xù)調(diào)節(jié)、計算機(jī)控制等幾種，同時實現(xiàn)的功能有單臺控制、分區(qū)控制、報警、運行狀態(tài)顯示等。
然而是什么原因?qū)е?/span>FFU在這么長的時間沒有得到廣泛的應(yīng)用呢？有三個問題占主導(dǎo)地位。
**：噪聲問題。各位可以想一想，在當(dāng)時的生產(chǎn)工藝水平下，上千臺風(fēng)機(jī)在一起的噪聲會是多大呢？
**：壓力平衡。在很大的靜壓箱里，每一個不同角落的風(fēng)機(jī)是否能得到均衡的壓力，這在當(dāng)時也是不能夠得到保證的。
第三：維護(hù)問題。FFU本身造價就比較高，如果它的電機(jī)壽命不能保證的話，更換又會帶來附加投資。這些都是造成當(dāng)時的企業(yè)不選擇使用FFU的主要原因。
隨著科技的發(fā)展，這些問題都變得容易起來。
一、首先降低了風(fēng)機(jī)本身的噪聲，再加上獨特的風(fēng)道設(shè)計，提高了風(fēng)機(jī)的效率，也大大降低了噪聲
二、計算機(jī)的發(fā)展，先進(jìn)的電腦控制系統(tǒng)，解決了大批量FFU壓力不均衡的問題
三、生產(chǎn)工藝水平的提高，延長了風(fēng)機(jī)的使用壽命；德國EBM高質(zhì)量離心風(fēng)機(jī)，具有長壽命、免維護(hù)、震動小等特性，工作壽命長達(dá)50000小時以上。